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電子級氫氟酸

 

分子式:HF 分子量:20.01
產(chǎn)品標準:GB620-2011

級別

制程技術(shù) (um)

應用領(lǐng)域

金屬雜質(zhì) ( ppb )

微粒子 ( 個(gè)/ml )

EL

>1.2

光伏 ; TFT顯示屏 LED

≦100

≦25 ( ≧1.0 um )

UP

0.8 - 1.2

光伏; LED ; 玻璃薄化 ;顯示屏; IC 芯片 < 6”

≦10

≦25 ( ≧0.5 um )

UPS

0.2 - 0.6

LED ; 顯示屏 ; IC 封 裝 ; IC 芯片 ≦6”

≦1

≦5 ( ≧0.5 um )

UPSS

0.09 - 0.2

IC 芯片 8” ; 12”

≦0.1 ( 100 ppt )

≦200(待議) ( ≧0.2 um )

 

性 狀:無(wú)色透明溶液,有強烈刺激性氣味,劇毒,并有強烈的腐蝕性。
用 途:用于化工、冶金、玻璃、礦山和石油開(kāi)采、光伏、原子能工業(yè)化學(xué)試劑、超高純氫氟酸應用于集成電路 ( I C)和超大規模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和蝕刻 。
貯 存:防潮、密封保存,貯存于通風(fēng)良好的庫房中。
運 輸:運輸中作為一級無(wú)機酸性腐蝕物品。
包 裝:依用戶(hù)要求充裝。

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